|
| | |
|
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Том 05. Термические процессы
| 23.02.2011, 16:12 |
В книге описаны технологические процессы формирования диэлектрических и
поликристаллических кремниевых пленок на поверхности полупроводниковых
пластин и эпитаксиалъного наращивания, приведены режимы обработки,
характеристики используемого оборудования, показаны последовательность и
особенности выполнения операций, методы контроля параметров процессов и
получаемых слоев. Скачать с Letitbit
=========================================== Похожие файлы ===========================================
|
Категория: Разное | Добавил: den-gopru
|
Просмотров: 640 | Загрузок: 294
| Рейтинг: 0.0/0 |
Добавлять комментарии могут только зарегистрированные пользователи. [ Регистрация | Вход ]
| |
| | |
|
|